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掩膜的原理是什么(凸版制造掩膜流程)
更新时间:2024-03-22 05:05:52
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在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到晶圆制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩制造。这一部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最高的一部分,也是限制最小线宽的瓶颈之一。光掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方
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